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第二十一章 真空镀膜(下)(2/3)

作者:肥美的韭菜
启动程序。

升温程序需要跑一个多小时。

在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级,从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。

分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时,采用超真空挡板阀,阻隔分子泵和蒸镀舱连接;当压力低于20帕时将其关闭,再使分子泵和蒸镀舱连通。

分子泵启动后,还需要较长的时间,才能使蒸镀舱内压强达到1e-5级别。

这个时间在半小时至一个半小时之间。

如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度,通常有两种情况。

一种是体系气密性不好,比如在关舱门时,门缝处夹了一个塑料袋;

另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多,需要清理。”

虽然系统里也有影像资料供许秋学习,但他觉得还是听学姐讲解更好一些。

主要是两个人站一起,一直不互动也蛮尴尬的。

……

一小时后。

真空计示数达到5.2e-5帕,升温程序也进入第二阶段,一切正常。

十二分钟后。

温度示数达到400摄氏度,膜厚仪显示的实时蒸镀速率,在-0.01至0.01埃每秒之间波动,膜厚显示仍为0.00埃。

三分钟后。

温度示数继续增加,直至480摄氏度左右,蒸镀速率开始在0.00至0.03埃每秒之间波动。

当温度达到520摄氏度后,蒸镀速率维持在0.20至0.30埃每秒。

许秋先开启样品台旋转,在等待了约十秒钟后,同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。

钙要蒸镀10纳米的厚度,也就是100埃。

……

待膜厚仪示数达到100埃时,许秋迅速关闭样品挡板。

随后,他将束源炉升温数控装置关闭,让束源炉自然降温。

最后,将膜厚仪的参数改为铝的参数。

……

半小时后。

束源炉的温度降低至77摄氏度。

许秋关闭钙的束源炉挡板,打开电流加热装置。

这个加热装置很简单,就是把电源、钨篓、电位器(类似于滑动变阻器)、保险丝、电流计连在一起,通过调节电位器,便可以改变电路中的电流大小。

许秋缓慢扭动电位器的旋钮,使电流计示数从0逐渐增加至18安培。

当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。

电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。

蒸镀速率则先是从0.2、0.3迅速提升至3.0,随后迅速回落至1.8,之后缓缓下降至1.7,1.6埃每秒……

电流计的示数也会随着时间变化,忽上忽下。

每当其相较于18的偏离值超过1时,许秋就将其调至18。

铝的厚度要求是100纳米,也就是1000埃。

……

待膜厚仪示数达到1000埃时,许秋迅速按下样品挡板。

然后缓缓扭动电位器,将电流归零。

接着关闭超真空挡板阀,停止分子泵。

等待十分钟后,分子泵转速从27000r..m.降至0,关闭其开关。

最后,关闭机械泵,关闭总控台。

…………

“终于结束
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