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第438章 光刻机项目:另辟蹊径(1/4)

作者:520农民
沐阳研究更新后的系统两个多小时才研究透,兴奋得睡不着。

喝了一杯茶,他想看看芯片制造技术的核心设备:光刻机。

目前市场上,有两种主流光刻机,一个是光刻机,另一个是光刻机。是深紫外线,是极深紫外线能够画越细越复杂的画。

就是彩笔,就是中性笔,中性笔画的线条比较细,比较好用。

这么理解,也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。

当前,国外品牌光刻机主要以荷蓝,岛国ikon和anon三大品牌为主。

的价格是1—3亿美金/台,的价格为2000万—5000万美金/台不等。

目前先进的光刻系统就是光刻机,如果沐阳打算走光刻机路线,必然绕不开别人的技术专利保护范围。

因此,他只能寻找另外光种的光刻机,同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。

就说分辨率,如果制作出来的电路图模糊不清,那芯片肯定不好。

光刻机其它的指标,也可以比喻成画笔的性能就行了。

并不是说,沐阳不能搞光刻机了,只是说,再搞和光刻机,绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。

所以,他只能另辟蹊径。

很久之前,沐阳就想到过电子束光刻机。

原本,再过几年,漂亮国的一个实验室研发出一套名为yvexitho1的光刻系统,基于扫描隧道显微镜,使用的是电子束光刻方式,制造出了0.7n宽的芯片,只是没法实现批量生产,或者成本高过。

沐阳相信,如果是技术成熟的电子束光刻机,线宽比0.7n小。

他在系统商店普通货架上默念搜索电子束光刻机,很快,搜索出几款相关技术。

沐阳选择适合自己公司的一款技术:01

技术参数:

1.最小线宽:小于1nbr/>

2.加速电压:5—500k

3.电子束直径:小于0.5nbr/>

4.套刻精度:1nan+0.20)

5.拼接精度:1nan+0.20)

6.加工晶圆尺寸:4—18英寸

7.描电镜分辨率:小于0.2nbr/>

主要特点:

1.采用超高亮度和超高稳定性的电子枪;

2.出色的电子束偏转控制技术;

3.采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率可达0.0002n

4.采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0.002ad;

5.应用领域广泛,如

微纳器件加工,研究用掩膜制造,纳米加工,高频电子器件中的混合光刻,图形线宽和图形位移测量等。

.....

需要成就点:300点!

....

沐阳大概看了下简介,光从技术参数上就看出它的先进性。

还有更加先进的光刻机,但是,以星海集团目前的条件,买了也造不出来,而且需要的成就点非常多。

这个01号称可以制造1n下的芯片,但量产成本会比较高。

因此,当前的情况,星海集团可以从7n片工艺开始,可以保证在2018年之前保持在世界第一地位。

等竞争对手可以批量搞7n片了,星海集团再推出5n3n片。

有些设备应用,也用不着这么高端的芯片,28n片工艺足够,也是未来十年内的主流。

只是说,沐阳不打算玩什么中低端芯片。

另外,沐
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